金年會(huì)官網(wǎng)注冊(cè)合潔電子潔凈工程:百級(jí)半導(dǎo)體潔凈車間如何保證空氣微??刂茦?biāo)準(zhǔn)百級(jí)半導(dǎo)體潔凈廠房保證空氣微??刂茦?biāo)準(zhǔn)的關(guān)鍵在于采取一系列綜合措施,以確保車間內(nèi)的空氣質(zhì)量滿足嚴(yán)格的潔凈度要求。以下是一些具體的做法和規(guī)定,具體隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下吧!
0.5微米的最大容許粒子濃度小于3520(pc/m3),5微米的最大容許粒子濃度小于293(pc/m3)。
施工流程控制:嚴(yán)格控制施工流程,確保無塵車間的潔凈度。包括全面清潔施工現(xiàn)場、按規(guī)定順序施工、避免交叉作業(yè)和灰塵產(chǎn)生,并在施工完成后進(jìn)行全面的清潔和消毒處理。
人員出入是導(dǎo)致無塵車間潔凈度下降的主要原因之一。因此,對(duì)進(jìn)出無塵車間的人員要進(jìn)行嚴(yán)格的管理。
進(jìn)入百級(jí)凈化車間的工作人員必須穿著無塵服與無塵鞋,并遵循規(guī)定的進(jìn)入順序,如佩戴無塵帽、口罩、穿上無塵衣等。
采用垂直單向流的氣流形式,通過初效過濾器過濾掉空氣中的大顆粒粉塵粒子,再通過高效過濾器進(jìn)行二次過濾,以達(dá)到潔凈要求。
百級(jí)無塵車間層流風(fēng)速大于0.35 m/s,金年會(huì)官網(wǎng)平臺(tái)換氣次數(shù)需在200次/h以上,以保證空氣的充分流通和潔凈。
通過實(shí)施以上措施,百級(jí)半導(dǎo)體潔凈廠房可以確??諝馕⒘?刂茦?biāo)準(zhǔn)得到滿足,從而保證半導(dǎo)體生產(chǎn)過程的潔凈度和產(chǎn)品質(zhì)量。
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